山東力冠微電子裝備

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? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設備 ? 寬幅卷對卷連續(xù)生長 ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過程全自動控制 ? 三腔室結(jié)構

◆ 快速退火爐是利用紅外熱輻射實現(xiàn)快速加熱的一種半導體熱處理工藝設備，通過燈光輻射型熱源功率控制模塊裝置和專用燈組對位于工藝腔體的半導體硅片進行快速加熱來實現(xiàn)穩(wěn)定的升溫過程

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