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  • SiC 籽晶粘連設(shè)備.jpg

SiC籽晶粘接設(shè)備


所屬分類:

第三代半導(dǎo)體工藝設(shè)備


概要:

? 籽晶的粘接工藝技術(shù)是將SiC籽晶通過有機(jī)膠粘接在石墨紙上,提高籽晶粘接質(zhì)量是保證高品質(zhì)SiC晶體生長的首要前提。


關(guān)鍵詞:

SiC籽晶粘接



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